Разработано оборудование и технология для нанесения моно- и многослойных защитных пленок из тугоплавких окислов применением методов испарения, ассистирования, стимулирования лазерным излучением. Позволяет наносить тонкие защитные пленки, стойкие к воздействию влаги, агрессивных сред и…