Технология формирования покрытий на основе благородных металлов электрохимическим методом при лазерном воздействии

Разработано технологическое оборудование для получения металлических пленок серебра, золота, платины заданных размеров на подложках из диэлектрических и полупроводниковых материалов, сформированных методом электрохимического осаждения при воздействии на катод лазерного излучения.
Данная технология позволяет увеличить скорость роста покрытия в зоне действия лазерного излучения в 8 – 10 раз, сократить расход благородных металлов при производстве изделий, снизить контактного сопротивления в 1.3 – 1.8 раз.Область использования: оптика, квантовая электроника, микро- и наноэлектроника.